使用TEGAM公司1740型微欧计测试微小尺寸被测件

TEGAM 公司搭建了一个测试系统,对微小尺寸的被测件进行微欧计和毫欧级的直流低电阻测试。该系统基于TEGAM 公司1740 型高精度微欧计,配合专门的探针台和测试探针,实现四线式的电阻测试,保证测试精度。


图 1-TEGAM 公司1740 型微欧计采用四线式Kelvin 测试表笔,具有0.02%的基本精度和1μΩ 的分辨率。1740 型微欧计支持RS-232 、GPIB 通信接口、以及PLC 控制,可以实现程控操作(型号1740/GPIB)。

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应用介绍


针对微小尺寸器件的电阻、电容和电感的测试,给器件制造商和研究人员带来了很大的挑战。尤其当需要高精度测试时,会产生很多问题。
由于微小尺寸电阻测试的关键是对被测件的物理接触,因此测试的第一个难点就是定位被测件。使用精密配置的探针台,可以准确固定被测件,同时可以灵活的移动探针进行测试。


准确定位被测件之后,接下来的难点就是精密的低电阻测试。传统的测试技术,微欧和毫欧级的低电阻测试需要大电流做为激励源,从而在被测件两端产生较大的电压降,便于测试。但是对于微小尺寸的被测件,持续的大电流会对被测件造成伤害。


TEGAM 公司有超过15 年的低电阻测试经验,并且已经开发出一系列的高精度、高速的微欧和毫欧级电阻测试的测试仪器,这些产品完美解决了上述问题。
探针台、显微镜和测试探针为了解决微小尺寸被测件的固定问题,我们选用美国TEGAM 公司的手动探针台。该探针台使用真空钳位平台,可以实现微小尺寸被测件的稳定放置,并且不影响测试探针接触被测件表面。此外,该平台可以通过X,Y,Z 三轴移动台,实现精确的位移控制,便于测试探针与被测件的接触。

使用TEGAM公司1740型微欧计测试微小尺寸被测件

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2018年8月9日 12:58

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